微細加工プラットフォーム

機関名 筑波大学
施設名 筑波大学 微細加工プラットフォーム
施設概要

 筑波大学微細加工プラットフォームでは、微細加工領域のプラットフォームとして、画期的な材料開発に挑む産学官の利用者に対して、高度な技術支援とともに利用機会を提供します。

 筑波大学微細加工プラットフォームでは8つの装置、デバイスシミュレーター、スパッタリング装置、レーザー描画装置、FIB-SEM、パッケージング、電子線蒸着装置、電子線描画装置、走査型プローブ顕微鏡(SPM)がご利用いただけます。

利用事例

装置一覧

資料一覧

 企業・公設試・大学等教育機関の皆様のご利用をお待ちしていますので、ぜひお気軽にご相談・ご利用下さい。

利用方法 ご利用の手順
施設ウェブサイト 筑波大学 微細加工プラットフォーム
問合せ先

筑波大学
微細加工プラットフォーム
〒305-8577 茨城県つくば市天王台1-1-1
TEL:Phone: 0269-853-1002 (内線:91126)
E-mail:staff[@]u-tsukuba-nanotech.jp
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備考