ナノプロセシング施設(NPF)

機関名 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 ナノプロセシング施設(NPF)
施設概要  産総研ナノエレクトロニクス研究部門では、AIST Nano-Processing Facility (AIST-NPF)をナノテクノロジー及びナノエレクトロニクス推進のためのオープンな共通基盤施設として産総研内各ユニットと協力して運営しています。

電子線を用いる微細構造描画装置から、走査電子顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡などの計測装置、ナノデバイスや材料の電子・光機能評価装置を有し、オリジナルな着想をいち早く具現化すべく、日々先端的な材料・デバイスの微細加工から機能検証までを一貫して推進しています。

企業・公設試・大学等教育機関の皆様のご利用をお待ちしていますので、ぜひお気軽にご相談・ご利用下さい。

利用方法 お申し込み方法
施設ウェブサイト ナノプロセシング施設(NPF)
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)
備考