微細加工プラットフォーム(NFP)

機関名 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
施設概要

NFP(Nanofabrication Platform)は最先端微細加工プロセッシング装置およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m2のクリーンルームを中心に微細加工を担う共用施設です。

当施設は次の特徴を備えております。

・30台以上の微細加工・評価・計測装置群をアンダーワンルーフに集約

・多種多様な材料加工に対応可能な微細加工装置を整備

・専門的な知識,経験を有した専任の支援スタッフよる充実した研究・技術サポート環境

・アンダーワンルーフで併設されているNIMS分子・物質合成PF,NIMS微細構造解析PF(一部)との横断的融合研究が実施可能な環境

詳しくは次のページをご参照ください。
NIMS微細加工プラットフォームの概要
装置一覧 

企業・公設試・大学等教育機関の皆様のご利用をお待ちしていますので、ぜひお気軽にご相談・ご利用下さい。

利用方法 利用について
施設ウェブサイト 微細加工プラットフォーム(NFP)
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex. 3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
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備考