MEMS研究開発拠点(MEMS)

機関名 産業技術総合研究所(AIST)
施設名 MEMS研究開発拠点(MEMS)
施設概要  産総研つくば東事業所内に、200/300mm(8/12インチ)ウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化・評価設備(TKB-812)を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結して共同研究や実証開発によるオープンイノベーションを推進する場を提供しています。

先端MEMSデバイスによる小型化、高機能化、産業競争力強化などに加えて、アプリケーション指向で集積化およびシステム化の研究開発を推進することにより、生活環境、インフラ、省エネルギーなどの分野で、社会に貢献する技術開発を目指します。

また、MEMSに関連する技術開発の将来を見据えて、プロセス実習を含む講習会などの人材育成活動を推進しています。

これらのMEMS製造設備は、産総研の共用施設利用サービスにより広く大学や企業の皆様に利用いただけます。

また、Micro-Nano Open Innovation Center(MNOIC)などと連携して、大口径ウェハMEMS製造ラインによるデバイス試作、各種加工分析装置による研究開発サポートなどのファンドリーサービスを、民間企業や大学等の学術研究機関に対して提供しています。

利用方法 お申し込み方法
施設ウェブサイト MEMS研究開発拠点(MEMS)
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター共用施設運営ユニット共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1
つくば中央第2事業所 2-12棟
TEL:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Email:tia-kyoyo-ml[@]aist.go.jp
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備考