共用研究施設一覧

機関名 施設名 施設概要
物質・材料研究機構(NIMS) 微細加工プラットフォーム(NFP) NFPは最先端微細加工プロセッシング装置およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m2のクリーンルームを中心に微細加工を担う共用施設です。
微細構造解析プラットフォーム(NMCP) NMCPでは高性能の透過型電子顕微鏡や走査透過型分析電子顕微鏡群を中心として、走査型へリウムイオン顕微鏡や極低温・高磁場STM、TOF-SIMS等による表面ナノ解析、高輝度放射光解析、強磁場個体NMR等の最先端計測装置群の相補的活用により、表面からバルクに至る先端ナノ計測による研究支援を提供しています。
分子物質合成プラットフォーム(MMSP) MMSPでは、おもにバイオテクノロジーとナノテクノロジー、材料科学の融合に関する研究開発支援を通じて、ナノバイオの基礎基盤研究から社会や産業に役立つイノベーション技術の創出まで行うことができる研究環境を提供することを目的としています。
材料創製・加工ステーション(MME) MMEでは、ものづくりを基本として、研究の遂行に不可欠な「研究設備の試作、試料作製、硝子工作、各種分析支援など」や、主に金属系材料を対象にした、「溶解・鍛造・圧延・熱処理・溶接などの一環支援業務」を行っています。
材料分析ステーション(MAS) MASには、物質・材料に関する、無機化学分析法(ICP-OES、AASなど)、X線回折装置(粉末・単結晶)、表面・微小領域分析法(AES、XPS、EPMA、SEMなど)などの施設があります。
強磁場ステーション(TML) 強磁場ステーションは、世界最高レベルの強磁場マグネット群が集中配備されており、Tsukuba Magnet Lanorator(TML)の通称で国際的に知られています。TMLは、1960年代に始まった超伝導材料など材料分野の研究の成果が核となって生まれました。TMLは、強磁場を共通項として、産・学・官との共同研究を積極的に進め、1998年より各マグネットを様々な分野の研究者に開放し、強磁場研究の中核機関としての役割を果たしています。
産業技術総合研究所(AIST) 産総研共用施設 産総研のIBEC(以下のANCF, CRAVITY, NPFを含む), スーパークリーンルーム(SCR), MEMSの先端施設や機器を公開しています。データベース未登録の機器もあります。
先端ナノ計測施設(ANCF) ANCFは特に産総研で開発した先端計測分析機器を公開し、研究開発現場等における課題解決に貢献することを目指しています。開発した先端計測分析機器や技術の高度化を図ると共にアプリケーション例を増やす等して、先端計測分析機器や技術の社会普及を促進します。
超伝導アナログ・デジタルデバイス開発施設(CRAVITY)  超伝導デバイス開発を牽引してきた産総研と(公財)国際超電導産業技術研究センター(ISTEC)の有する低温超伝導デバイス作製用機器と関連するノウハウを統合・ 集約した、超伝導アナログ/デジタル技術の両方をカバーした世界トップレベルの研究開発施設です。
MEMS研究開発拠点(MEMS) 産総研つくば東事業所内に、200/300 mm(8/12インチ)ウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化・評価設備(TKB-812)を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結して共同研究や実証開発によるオープンイノベーションを推進する場を提供しています。
ナノプロセシング施設(NPF) NPFはナノテクノロジー及びナノエレクトロニクスを推進するための共用研究施設です。 電子線を用いる微細構造描画装置から、走査電子顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡などの計測装置、ナノデバイスや材料の電子・光機能評価装置、及び様々な成膜装置を有し、オリジナルな着想の具現化を支援すべく、日々先端的な材料・デバイスの微細加工から機能検証までを一貫して推進しています。
高エネルギー加速器研究機構(KEK) フォトンファクトリー(PF) PFは、大学共同利用機関法人・高エネルギー加速器研究機構(KEK)にある放射光施設で、多くの研究者に放射光を用いた最先端の研究の場を提供しています。
筑波大学 研究基盤総合センター応用加速器部門(UTTAC) UTTACは2台のタンデム型静電加速器による高エネルギーの多種イオンビームおよび放射性同位元素を利用する計測技術を、物理学、工学、化学、生物学、医学、地球・環境科学、並びにこれらの境界領域分野へ高度利用し、それに基づく基礎的研究と学類・大学院教育を行なうための共同利用施設です。
微細加工プラットフォーム 筑波大学微細加工プラットフォームでは、微細加工領域のプラットフォームとして、画期的な材料開発に挑む産学官の利用者に対して、高度な技術支援とともに利用機会を提供しています。