微細構造解析プラットフォーム(NMCP)の装置一覧

施設名 装置名称/手法 仕様 用途
微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡(JEM-ARM200F-B) 照射レンズ系、結像レンズ系のそれぞれに収差補正機能を搭載し、超高分解能(0.8nm)を実現すると共に、試料ホルダーを利用して様々な実動作環境におけるその場観察・分析・ポテン...

超高分解能TEM/STEM、EDS(Dual-SDD-EDS)、EELS(GIF)、電子線ホ口グラフイー、様々な環境下でのその観察(高温:~1,200℃、ガス雰囲気、バイアス印加など。)

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 環境制御型周波数変調方式走査型プローブ顕微鏡 分解能:水平0.2nm以下、垂直0.01nm以下、計測機能:トポグラフィー、位相、水平力、フォースモジュレーション、電流、表面ポテンシャル、変位換算ノイズ密度:20fm/√Hz以下、...

液中、真空中、ガス雰囲気、加熱、光照射などの環境場における周波数変調(FM)方式の原子分解能走査型プローブ顕微鏡(SPM)。

金属、半導体、絶縁体、有機材料などの表面形状計測・表面電位計測等が可能。

表面形状計測等は、原子・分子スケールで可能。

 

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置(JXA-8500F) 1.電界放出形電子銃、2.加速電圧:1~30kV、3.照射電流:10pA~500nA、4.波長分散型X線分光器:5基搭載、5.測定可能元素:Be~U、6.最大試料サイズ:100×100×50mm

電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置JXA-8500F FE-EPMAは、FE電子銃搭載の高感度微小領域EPMAで、0.1μmオーダーの元素分析が可能。金属、半導体等の表面の組成分析、元素の二次元分布分析(マップ)が可能。

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) ガス吸着型比表面積・ナノ細孔径評価装置(BELSORP-HP/BELSORP-max) ・ 比表面積:0.01 m2/g以上・ 細孔分布:直径0.35~500 nm・ 温度制御:液体窒素、10~70 ℃(空気恒温)、室温~400 ℃(電気炉)・ 0.99 MPaまでの高圧測定(BELSORP-HP)・ 蒸気...

1気圧までのガス・上記(水・有機溶剤)の吸着・等温線測定(-196 ℃、10 – 60 ℃)。10気圧までの吸着等温線測定(-196 ℃、10 – 300 ℃)。

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 集束イオンビーム加工装置(FB2000S) 加速電圧:30kV、マイクロサンプリング機能付属、  

電子顕微鏡試料作製

バルク試料の任意の位置からマイクロサンプルを摘出できる。

 

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) マイクロフォーカスX線CT装置(SMX-160CTS) ・ 約1~5 μmの超微小焦点のX線源を用いた高い分解能を有するX線CT装置・ 非常に高速なCT処理速度を有しており、材料内部の三次元的な欠陥構造や組織分散の評価など材料の研究手...

構造解析

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 多機能走査型プローブ顕微鏡 表面形状計測表面電位計測走査範囲:50μm力学測定ナノインデンター機能 

光照射、ガス雰囲気、湿度制御などの環境場における走査型プローブ顕微鏡(SPM)。

金属、半導体、絶縁体、有機材料などの表面形状計測・表面電位計測等の表面物性評価が可能。

力学測定が可能で、ナノインデンター機能も有り。

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 飛行時間型二次イオン質量分析装置(PHI TRIFT V nanoTOF) 固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオン...

固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオンビームを使用し、空間分解能:<100nm(低質量分析時),11,000(低質料分子イオン),>15,000(高質量分子イオン)を実現。CCDTVまたはSEM像で分析位置を決定し、高質量分解能スペクトル測定、原子・分子イオンの2D分析、深さ方向分析、3D分析が可能。

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 走査型ヘリウムイオン顕微鏡(ORION Plus) 原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微...

原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡。 高元素識別性(“マトリックスコントラストがつきやすく、元素を識別したイメージングが可能)、低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度等の長所を有する。イオンビームによるナノスケール加工も可能。

微細構造解析プラットフォーム(NMCP) 極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡(VLT-STM) 導電性単結晶表面の原子分解能観察およびトンネル分光測定が可能。原子分解能STM(温度0.4K~20K、 磁場0T~16T)、試料準備(アルゴンイオンスパッタ銃、ヒーター(~1200℃)、電子...

導電性単結晶表面の原子分解能観察およびトンネル分光測定が可能。原子分解能STM(温度0.4K~20K、 磁場0T~16T)、試料準備(アルゴンイオンスパッタ銃、ヒーター(~1200℃)、電子ビーム蒸着装置)

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