IRエミッション顕微鏡 THEMOS-1000

機関 筑波大学
施設名 研究基盤総合センターオープンファシリティー推進室(UTOF):数理物質系
メーカー Toki Commercial Co., Ltd.
型式 THEMOS-1000 
用途
仕様(特徴・詳細)

特徴
・ 半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。赤外線画像の観測により、発熱分布(温度分布)の検出や、電流リーク箇所の同定が行えます。

・ InSbHRカメラが搭載されており裏面観察時においても高解像度・高コントラストで細部に渡ってクリアなパターン像を得ることが可能です。

・ 発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測できます。

仕様
検出波長:3.7μm~5.1μm、最大視野:3cm x 2cm、最小視野:0.7mm x 0.7mm、最小空間分解能:2.8μm、雑音等価温度差:25mK、時間分解能:3μsec.

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問合せ先

筑波大学研究基盤総合センターオープンファシリティー推進室
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備考
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