走査型プローブ顕微鏡(SPM)

機関 筑波大学
施設名 研究基盤総合センターオープンファシリティー推進室(UTOF):研究基盤総合センター分析部門
メーカー 日立ハイテクサイエンス
型式 E-sweep
用途
仕様(特徴・詳細)

走査型プローブ顕微鏡(SPM)は,プローブ(探針)と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し,微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称であり,基本的な走査モードとして,原子間力顕微鏡(AFM)やダイナミックフォースモード(DFM),凹凸の大きい試料の測定に適したSISモードを備えている.多機能モードとして,摩擦力顕微鏡(FFM),磁気力顕微鏡(MFM),表面電位顕微鏡(KFM),圧電応答顕微鏡(PRM),電流同時AFM(Nano/Pico Current AFM),走査型トンネル顕微鏡(STM)がある.本装置には,環境制御機能が搭載されており,真空中,液中,温度制御,湿度制御が可能である.また試料とカンチレバーをセットし必要なセットアップを行った後に1クリックでイメージを自動測定するRealTune機能がある.

【試料サイズ】
高さ ・・・ 9mm以内
幅 ・・・ 30mm以内
【面内最大走査範囲/垂直最大可動範囲】
20µmスキャナー使用時 ・・・  20µm/約1µm
100µmスキャナー使用時 ・・・ 100µm/約10µm

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問合せ先

筑波大学研究基盤総合センターオープンファシリティー推進室
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備考
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