電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)

機関 筑波大学
施設名 研究基盤総合センターオープンファシリティー推進室(UTOF):研究基盤総合センター分析部門
メーカー JEOL
型式 JXA-8530F Electron Probe Micro Analyzer
用途
仕様(特徴・詳細)

電子プローブアナライザー(EPMA)とは、電子線を試料表面に照射した際に発生する特性X線の波長と強度を測定することにより,固体試料表面の微小部位の構成元素の元素分析や観察を非破壊で行うことができる装置である.本装置は,フィールドエミッション(FE)電子銃を搭載しており,1μm以下の微小部位の元素分析も可能である.金属,岩石,セラミックス,半導体などの広い分野の元素分析や微細組成の分析に用いられる.
【分析元素範囲】B – U 【加速電圧】1 – 30kV 【照射電流範囲】10-12 – 5×10-7A 【走査倍率】40 – 300,000倍

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筑波大学研究基盤総合センターオープンファシリティー推進室
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