FIB-SEM

機関 筑波大学
施設名 微細加工プラットフォーム
メーカー FEI
型式 Helios NanoLab<sup>TM</sup> 600i
用途

集束イオンビームを用いたTEM試料作成、試料のエッチングなど

仕様(特徴・詳細)
加速電圧:50 V – 30 kV(電子ビーム)、500 V – 30 kV(イオンビーム)
デポジション用ガス:C、Ptガス
詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

筑波大学微細加工プラットフォーム事務局
e-mai: staff[@]u-tsukuba-nanotech.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

サービス提供中

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