電子線描画装置

機関 筑波大学
施設名 微細加工プラットフォーム
メーカー 株式会社エリオニクス製
型式 ELS-7500EX  
用途

電子線描画による微細なレジストパターンの形成

仕様(特徴・詳細)
加速電圧:5 – 50 kV
最小線幅:10 nm
試料サイズ:MAX 4″
詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

筑波大学微細加工プラットフォーム事務局
e-mai: staff[@]u-tsukuba-nanotech.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考

サービス提供中

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