高分解能イオンビーム表面分析(High-Resolution Ion Surface Analysis)

機関 筑波大学
施設名 研究基盤総合センター応用加速器部門(UTTAC)
メーカー KOBELCO
型式 HRBS1000
用途

原子層レベルの成分等を制御した機能性薄膜の分析など

仕様(特徴・詳細)

試料表面によって散乱された高速イオンのエネルギーを電磁石とイオン位置検出器を用いて精度よく測定することで、試料最表面の元素分布を精度良く分析します。

物質表面(1~5層)の元素分布分析
・非破壊測定
・エネルギー分解能:入射エネルギーの0.4 %以下
・深さ分解能:Si基準で約0.2 nmに相当(原子層レベル)
・定量精度:±3 %以内
・水素の定量下限(H,D):0.1 – 0.5 at%程度

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

筑波大学
研究基盤総合センター応用加速器部門、外部利用窓口
〒305-8577 茨城県つくば市天王台1-1-1
電話:029-853-2492(応用加速器部門事務室)
FAX:029-853-2565
e-mail: kyoyo-staff[@]tac.tsukuba.ac.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考
施設画像
検索キーワード