弾性反跳原子検出分析(Elastic Recoil Detection Analysis : ERDA)

機関 筑波大学
施設名 研究基盤総合センター応用加速器部門(UTTAC)
メーカー
型式
用途

・薄膜中水素の分析
・有機系材料の表面分析

仕様(特徴・詳細)

高速イオンを試料に照射し、反跳された試料中原子のエネルギーを測定することで、試料を構成する元素を分析します。

物質内の元素分布の測定(水素などの軽元素)

非破壊測定
薄膜の測定が可能
絶対組成の定量評価が可能
最小試料サイズ:5 mm × 5 mm

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

筑波大学
研究基盤総合センター応用加速器部門、外部利用窓口
〒305-8577 茨城県つくば市天王台1-1-1
電話:029-853-2492(応用加速器部門事務室)
FAX:029-853-2565
e-mail: kyoyo-staff[@]tac.tsukuba.ac.jp
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