ラザフォード後方散乱分光分析(Rutherford Backscattering Spectroscopy : RBS)

機関 筑波大学
施設名 研究基盤総合センター応用加速器部門(UTTAC)
メーカー
型式
用途

・異種元素分析(深さ方向分布)
・異種元素結晶格子位置決定
・格子欠陥分布決定
・表面、界面反応の解析
・非平衡物質処理過程の解析

仕様(特徴・詳細)

高速イオンを試料に照射し、散乱されたイオンのエネルギーを測定することで、試料を構成する元素を分析します。

物質内の中重元素深さ分布評価
・非破壊測定
・分析可能深さ:数μm
・絶対組成の定量評価が可能
・重元素ほど高感度(数十ppm)
・最小試料サイズ:5 mm × 5 mm

チャネリング効果との併用
・実空間における結晶学的解析
・分光学的解析との相補性
・原子配列の乱れの検出

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

筑波大学
研究基盤総合センター応用加速器部門、外部利用窓口
〒305-8577 茨城県つくば市天王台1-1-1
電話:029-853-2492(応用加速器部門事務室)
FAX:029-853-2565
e-mail: kyoyo-staff[@]tac.tsukuba.ac.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

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