走査電子顕微鏡(JSM-6510)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー
型式 JSM-6510
用途

表面の形状観察

 

仕様(特徴・詳細)

1.Wフィラメント電子銃、2.二次電子分解能:3.0nm(30kV)、8nm(3kV)、15nm(1kV)、3.加速電圧:0.3~30kV、4.倍率:5~300,000、5.最大試料サイズ:φ150mm

①Wフィラメント電子銃搭載の汎用型SEM、②操作ナビ画面にナビゲーション表示、③試料交換手順はフロー式で初めての方でも簡単に試料交換可能

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
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