電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6500F)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー
型式 JSM-6500F
用途

表面の形状観察及び元素分析

仕様(特徴・詳細)

1.電界放出形電子銃、2.二次電子分解能:1.5nm(15kV)、3.0nm(1kV)、3.加速電圧:0.5~30kV、4.倍率:10~500,000、6.最大試料サイズ:φ100mm。

①FE電子銃搭載、②4つのモードの二次電子像、③インレンズ方式のため超高分解能観察が可能、④EDS付属

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
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