電子線プローブマイクロアナライザー装置(JXA-8900RL)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー
型式 JXA-8900RL
用途

金属、半導体等の表面の元素分析

仕様(特徴・詳細)

1.Wフィラメント電子銃、2.加速電圧:0.2~40kV、3.照射電流:1pA~10μA、4.波長分散型X線分光器:5基搭載、5.測定可能元素:Be~U、6.最大試料サイズ:100x100x50mm。

①Wフィラメント電子銃搭載の高感度微小領域EPMA

 

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード EPMA 電子線プローブ 分析 元素分析 X線分光 微小領域 波長分散型