走査型オージェ電子分光分析装置(JAMP-9500F)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー 日本電子
型式 JAMP-9500F
用途

金属、半導体等の表面分析

事例集:http://www.nims.go.jp/infrastructure/cases.html

⇒ 材料分析ステーション 表面・微小領域分析グループ をご参照。

 

仕様(特徴・詳細)

1.空間分解能:<8nm(ショットキー電界放射電子銃)、2.加速電圧:0.5~30kV、3.照射電流:0.1~100nA、4.測定元素:Li~U、5.最大試料サイズ:14x14x5mm、6.試料破断装置

①~10nm以下の表面の元素分析、~x50,000倍までの測定可能。高深さ分解能で深さ方向分析が可能。

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード 表面分析 深さ方向分布 電子線 オージェ電子 元素 分析