断面試料作製装置(SM-09020CP)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー
型式 SM-09020CP
用途

断面試料表面の鏡面加工

 

仕様(特徴・詳細)

1.イオン加速電圧:2~6kV、2.イオンビーム径:500μm、3.最大搭載試料サイズ:11x10x2mm、4.試料角度調整範囲:±5°、5.ミリングスピード:100μm/hr、6.使用ガス:アルゴン。

①断面試料表面をArスパッタエッチングで鏡面加工

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
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検索キーワード 試料作製 切断