電界放出形走査電子顕微鏡(S-5500)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 S-5500
用途

表面の形状観察

 

仕様(特徴・詳細)

1.冷陰極電界放出形電子銃、2.インレンズ方式、3.二次電子分解能:0.4nm(30kV)、1.6nm(1kV)、4.加速電圧:0.5~30kV、5.低倍率モード:60~10,000、高倍率モード:800~2,000,000、6.最大試料搭載可能サイズ⇒・平面:5.0x9.5x3.5H(mm)、・断面:2.0x6.0x5.0H(mm)。

①低加速電圧電界放出形電子銃搭載、②4つのモードの二次電子像、③インレンズ方式のため超高分解能観察が可能。

 

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

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