極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 SU8000
用途

表面の形状観察

仕様(特徴・詳細)

1.冷陰極電界放出形電子銃、2.二次電子分解能:1.0nm(15kV)、2.0nm(1kV)、3.加速電圧:0.5~30kV、4.照射電圧:0.1~2.0kV(リターディングモード)、5.低倍率モード:20~2,000、高倍率モード:100~800,000、6.最大試料サイズ:φ100mm。

①極低加速電圧電界放出形電子銃搭載、②4つのモードの二次電子像、③インレンズ方式でないため、大きな試料の観察が可能。

 

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
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検索キーワード 電子顕微鏡 観察 走査 低加速電圧 電界放出形