電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置(JXA-8900R 改)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー 日本電子
型式 JXA-8900R 改
用途

金属、半導体等の表面の元素分析

事例集をご参照下さい。⇒ http://www.nims.go.jp/infrastructure/cases.html  >材料分析ステーション 表面・微小領域分析グループ へお進み下さい。

仕様(特徴・詳細)

1.電界放出形電子銃、2.加速電圧:1~30kV、3.照射電流:10pA~500nA、4.波長分散型X線分光器:5基搭載、5.測定可能元素:Be~U、6.最大試料サイズ:100x100x50mm

①FE電子銃搭載の高感度微小領域EPMA

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード EPMA 分析 電子線プローブ 電界放出形