マルチガス導入グロー放電質量分析システム(VG9000)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 材料分析ステーション(MAS)
メーカー
型式 VG9000
用途

1.金属・セラミックス試料の高感度分析、2.薄膜試料の分析が可能、3.相対感度係数による高い精確さを有する分析が可能。

仕様(特徴・詳細)

1.固体試料直接分析、2.ファラデー及びデイリー検出器でダイナミックレンジ9桁、3.相対イオン収率ファクター2以内、4.ヘリウムグロー放電を利用して軽元素の高感度検出・定量、5.ヘリウムグロー放電を利用して2次陰極法により非導電性試料分析が可能、

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード 分析 元素 グロー放電 軽元素 ヘリウムグロー放電 He 質量分析