ミニSEM+EDX

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 TM3000
用途

操作の容易なEDX付き卓上SEM、微細構造の観察および分析、

仕様(特徴・詳細)

反射電子観察、最大倍率:50000、

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード SEM 簡易走査電子顕微鏡 EDX付き