薄膜応力測定装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

成膜前後の試料をレーザースキャンし、その反射角度から曲率半径を計算し、前後での変化量から成膜した薄膜の応力を算出することができる、薄膜応力測定、

仕様(特徴・詳細)

測定方式:レーザースキャン方式、測定範囲:1~4000MPa、試料サイズ:φ3、6、8インチ、

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
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