オスミウムコーター(2)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

絶縁物等を走査電子顕微鏡で観察する際に、オスミウム金属の導電薄膜を形成する、SEM前処理

仕様(特徴・詳細)

成膜材料:オスミウム金属、成膜方式:プラズマCVD、試料サイズ:最大φ4インチ、

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード オスミウム SEM前処理 導電薄膜