触針式表面段差計

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

針を試料表面に接触させ走査することによって試料表面の凹凸を測定する、接触式段差測定、

仕様(特徴・詳細)

走査距離:10mm、最大段差測定:400μm、試料サイズ:最大φ6インチ、

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
検索キーワード 段差測定