UVオゾンクリーナー

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

オゾンガスとUV照射による試料表面浄化プロセス、基板洗浄、レジスト剥離、

仕様(特徴・詳細)

光源:紫外線ランプ(184.9nm & 253.7nm)、ステージ温度:室温~300℃、試料サイズ:最大φ8インチ、

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
施設画像
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