シリコン酸化炉

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

O2によるドライ酸化の他、水蒸気を併用するウェット酸化も可能、

仕様(特徴・詳細)

ウェット酸化能力:1プロセスで膜厚2μm以上、ウェハ処理能力:φ3インチまたはφ6インチウェハを最高11枚、

 

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問合せ先

 

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
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検索キーワード 炉 酸化炉 シリコン