低温プローバー

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

IVおよびCV特性を室温から8Kの極低温までの温度依存性として計測、

 

仕様(特徴・詳細)

温度範囲:8~300K、サンプルサイズ:最大4インチφ、マニピュレーター:4本、半導体パラメータアナライザー:4系統、高速パルスI-V測定、

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問合せ先
備考

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

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検索キーワード プローバー 低温 IV特性 CV特性