室温プローバー

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

IVおよびCV特性を、室温から200℃までの温度依存性として計測、

 

仕様(特徴・詳細)

サンプルサイズ:最大4inchφ、マニピュレーター:4本、半導体パラメータアナライザー:IV 4系統、CV 1系統、試料台加熱機能、

 

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp

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技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

備考
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