FE-SEM(SU8230)+EDX

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

微細加工評価・計測、

 

仕様(特徴・詳細)

冷陰極電界放出電子銃、分解能:0.8nm(15kV)、1.1nm(1kV)、追加機能:EDS、

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問合せ先

chukaku[@]nims.go.jp(お問合せ頂く際は[ ]を外して下さい)

技術開発・共用部門事務統括室

TEL029-860-4939

〒305-0047つくば市千現1-2-1

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