CAD作成システム

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

微細加工(設計)

仕様(特徴・詳細)

EB描画装置用CADシステム、マスクレス露光装置用CADシステム。

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-859-3354(ex.3960)

FAX:029-859-2309

E-mail:NIF-office@nims.go.jp

 

 

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