ウェットステーション

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー
型式
用途

微細加工(洗浄)

 

仕様(特徴・詳細)

有機ドラフトチャンバー、酸・アルカリドラフトチャンバー(半導体洗浄暴露対策装置)。

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-851-3354(ex.3960)

FAX:029-859-2309

E-mail:NIF-office@nims.go.jp

備考
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