ウエハRTA装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ハイソル
型式 AccuThermo AW610
用途

小片~φ6インチウエハの急速アニール、合金化、

 

 

仕様(特徴・詳細)

加熱方式:赤外線ランプ方式、

プロセス温度:1,250℃以下、

昇温速度:150度/秒以下@Siウエハ、40度/秒以下@SiCサセプタ、

プロセスガス:N2、Ar、Ar+3%H2、O2、

試料サイズ:最大φ6インチ、

 

 

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-851-3354(ex.3960)

FAX:029-859-2309

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