高圧ジェットリフトオフ装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NFP)
メーカー カナメックス
型式 KLO-150CBU
用途

微細加工(成膜)

仕様(特徴・詳細)

レジスト膨潤:80℃ NMP溶液、

レジスト剥離:室温高圧ジェットNMP溶液(最大15MPa)、

リンス:IPA、純水、

乾燥:スピン乾燥、N2ブロー

試料サイズ:最大6インチφ、

 

 

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-851-3354(ex.3960)

FAX:029-859-2309

 

備考
施設画像
検索キーワード