集束イオンビーム加工装置(FB2000S)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー 日立
型式 FB2000S
用途

電子顕微鏡試料作製

バルク試料の任意の位置からマイクロサンプルを摘出できる。

 

仕様(特徴・詳細)

加速電圧:30kV、

マイクロサンプリング機能付属、

 

 

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-859-2139

E-mail:acnp@nims.go.jp

 

 

 

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