走査型オージェ電子分光分析装置(PHI680)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー
型式
用途

走査型オージェ電子分光分析装置PHI680 AESは、電子線照射により表面から放出されるオージェ電子の運動エネルギーと強度を測定する表面分析手法で、微小領域の組成分析や、高倍率で元素の二次元分布分析(マップ)、及び深さ方向分析が可能。

仕様(特徴・詳細)

1.空間分解能:<12nm(ショットキー電界放射電子銃)、2.加速電圧:0.5~20kV、3.照射電流:0.1~20nA、4.測定元素:Li~U、5.最大試料サイズ:φ20×5mm、6.試料破断装置

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-859-2139

E-mail:acnp@nims.go.jp

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