電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置(JXA-8500F)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー
型式
用途

電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置JXA-8500F FE-EPMAは、FE電子銃搭載の高感度微小領域EPMAで、0.1μmオーダーの元素分析が可能。金属、半導体等の表面の組成分析、元素の二次元分布分析(マップ)が可能。

仕様(特徴・詳細)

1.電界放出形電子銃、2.加速電圧:1~30kV、3.照射電流:10pA~500nA、4.波長分散型X線分光器:5基搭載、5.測定可能元素:Be~U、6.最大試料サイズ:100×100×50mm

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-859-2139

E-mail:acnp@nims.go.jp

 

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