環境制御型周波数変調方式走査型プローブ顕微鏡

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー
型式
用途

液中、真空中、ガス雰囲気、加熱、光照射などの環境場における周波数変調(FM)方式の原子分解能走査型プローブ顕微鏡(SPM)。

金属、半導体、絶縁体、有機材料などの表面形状計測・表面電位計測等が可能。

表面形状計測等は、原子・分子スケールで可能。

 

仕様(特徴・詳細)

分解能:水平0.2nm以下、垂直0.01nm以下、

計測機能:トポグラフィー、位相、水平力、

フォースモジュレーション、電流、表面ポテンシャル、

変位換算ノイズ密度:20fm/√Hz以下、

精密環境制御:真空、ガス雰囲気、液中、温度制御、湿度制御

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL029-859-2139

E-mail:acnp@nims.go.jp

 

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