多機能走査型プローブ顕微鏡

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー
型式
用途

光照射、ガス雰囲気、湿度制御などの環境場における走査型プローブ顕微鏡(SPM)。

金属、半導体、絶縁体、有機材料などの表面形状計測・表面電位計測等の表面物性評価が可能。

力学測定が可能で、ナノインデンター機能も有り。

仕様(特徴・詳細)

表面形状計測

表面電位計測

走査範囲:50μm

力学測定

ナノインデンター機能

 

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室

〒305-0047茨城県つくば市千現1-2-1

TEL:029-859-2139

E-mail:acnp@nims.go.jp

 

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