高速マスクレス露光装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー ナノシステムソリューションズ
型式 DL-1000 / NC2P
用途

高速高精度マスクレスパターニング

仕様(特徴・詳細)

光源 : 405nm LED(h線)

照度 : 1W/cm2
位置決め精度 : ±100nm以下
重ね合わせ精度 : ±100nm以下
試料サイズ : 最大8インチ角
その他 : スキャニング高速露光,自動/手動アライメント機能,汎用CAD/画像ファイル読込可
詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(お問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考
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