125kV電子ビーム描画装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細加工プラットフォーム(NFP)
メーカー エリオニクス
型式 ELS-F125
用途

高速高精細ナノパターニング

仕様(特徴・詳細)

電子銃 : ZrO/W熱電界放射型

最大加速電圧 : 125kV (25kVステップで可変)
フィールドつなぎ精度 : < 25nm (600umフィールド)
重ね合わせ精度 : < 30nm(600umフィールド)
試料サイズ : 最大φ6インチ
その他 : 汎用CAD(dxfファイル)にも対応(CAD用パソコンの利用は無料)
詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-851-3354(ex.3960)
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office[@]nims.go.jp
(お問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)

備考
施設画像
検索キーワード 125kV電子ビーム描画装置