デュアルビーム加工観察装置 (NB5000)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー (株)日立ハイテクノロジーズ
型式 NB5000
用途

・ タングステンと炭素の薄膜形成
・ 大面積・硬質材料の加工

仕様(特徴・詳細)

・ 低球面収差FIB光学系により、ガリウムイオンビーム径約1マイクロメートルで、50 nA以上のビーム電流を得ることができる。
・ 走査透過電子顕微鏡(STEM)の機能により、0.8 nm以下の高分解能観察が可能。
・ 薄片試料を360°回転させて観察可能。
・ マイクロサンプリング機能(ピックアップ機能)内蔵。
・ エネルギー分散形X線元素分析装置(EDX)により組成分析が可能。

Gaイオンビームによる試料の薄片化とSEM・STEM観察、EDX元素分析、W膜や炭素膜の堆積、回転ホルダによる微細加工および観察が可能。

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考
施設画像
検索キーワード 集束イオンビーム ガリウム 断面加工 薄膜化 薄膜形成 エネルギー分散型 X線分析装置 走査電子顕微鏡 走査型透過電子顕微鏡 サイドエントリーステージホルダ