プラズマ処理装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 分子物質合成プラットフォーム(MMSP)
メーカー ヤマト科学
型式 PDC200
用途

プラズマを使用した表面処理装置です。有機膜、金属酸化膜の除去やプリント基板のドライクリーニングに使用できます。

仕様(特徴・詳細)

プラズマモード RIE

電極構造 平行平板

高周波出力 100~300W

発信周波数 13.56MHz

チャンバー材質 アルミ製

反応ガス 酸素

パージガス 窒素または空気

詳細リンク先 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先

NIMS分子・物質合成プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2399
e-mail: SML-office@nims.go.jp

備考

分子・物質合成プラットフォーム

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