飛行時間型二次イオン質量分析装置(PHI TRIFT V nanoTOF)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー アルバック・ファイ
型式 PHI TRIFT V nanoTOF
用途

固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオンビームを使用し、空間分解能:<100nm(低質量分析時),11,000(低質料分子イオン),>15,000(高質量分子イオン)を実現。CCDTVまたはSEM像で分析位置を決定し、高質量分解能スペクトル測定、原子・分子イオンの2D分析、深さ方向分析、3D分析が可能。

仕様(特徴・詳細)

固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオンビームを使用し、空間分解能:<100nm(低質量分析時),11,000(低質料分子イオン),>15,000(高質量分子イオン)を実現。CCDTVまたはSEM像で分析位置を決定し、高質量分解能スペクトル測定、原子・分子イオンの2D分析、深さ方向分析、3D分析が可能。

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考

微細構造解析プラットフォーム

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