走査型ヘリウムイオン顕微鏡(ORION Plus)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー カールツァイス
型式 ORION Plus
用途

原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡。 高元素識別性(“マトリックスコントラストがつきやすく、元素を識別したイメージングが可能)、低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度等の長所を有する。イオンビームによるナノスケール加工も可能。

仕様(特徴・詳細)

原子スケールイオン源、回折効果の極小化(スポットサイズをサブナノメートルまで絞ることが可能)等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡。 高元素識別性(“マトリックスコントラストがつきやすく、元素を識別したイメージングが可能)、低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度等の長所を有する。イオンビームによるナノスケール加工も可能。

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考

微細構造解析プラットフォーム

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