高輝度放射光薄膜・ナノ構造用回折計

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー
型式
用途 構造解析
仕様(特徴・詳細)

試料表面内、面直方向の3次元の原子配置構造の解析が可能。
結晶性の薄膜機能材料の表面、界面のマイクロラフネス、薄膜の格子歪、電荷密度の深さ方向分布などが検出可能な例。
0次元検出器とスリット系との組み合わせによる高角度分解能測定が可能。
入射X線エネルギーEの推奨範囲は10 - 20 keV。
本装置は試料の回転用に4軸、検出器の回転用に2軸を有する。単色光(ΔE/E ~ 10-4)。


 

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問合せ先 NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp[@]nims.go.jp
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備考 微細構造解析プラットフォーム 
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検索キーワード 高輝度放射光 薄膜・ナノ構造 原子配置構造 マイクロラフネス 格子歪 電荷密度 高角度分解能