微細組織三次元マルチスケール解析装置(SMF-1000)

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー エスアイアイ・ナノテクノロジー
型式 SMF-1000
用途

FIB-SEM-Ar-ionのトリプルガンを装備した電子顕微鏡。世界で唯一のFIB-SEM直交配置の装置:高い空間分解能・コントラストでのFIB-SEMシリアルセクショニングによる3D再構築像観察が可能。EBSD、EDS、STEM(BF、ADF)などの多彩な検出器による同時測定が可能。

仕様(特徴・詳細)

FIB-SEM-Ar-ionのトリプルガンを装備した電子顕微鏡。世界で唯一のFIB-SEM直交配置の装置:高い空間分解能・コントラストでのFIB-SEMシリアルセクショニングによる3D再構築像観察が可能。EBSD、EDS、STEM(BF、ADF)などの多彩な検出器による同時測定が可能。

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考

微細構造解析プラットフォーム

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