無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置

機関 物質・材料研究機構(NIMS)
施設名 微細構造解析プラットフォーム(NMCP)
メーカー Fischione Instruments
型式 NanoMill Model1040
用途

Ar+イオンエネルギー:50~2000eV、イオン電流:1mA/cm2、イオンビームサイズ:2 μm、イオン入射角:-10?30゜、試料回転角:360°で、新たな損傷を与えずにTEM観察用試料を作製。

仕様(特徴・詳細)

Ar+イオンエネルギー:50~2000eV、イオン電流:1mA/cm2、イオンビームサイズ:2 μm、イオン入射角:-10?30゜、試料回転角:360°で、新たな損傷を与えずにTEM観察用試料を作製。

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問合せ先

NIMS微細構造解析プラットフォーム推進室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2139
E-mail:acnp@nims.go.jp

備考

微細構造解析プラットフォーム

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